三氟化氮
營業時間:8:30-12:30 13:30-17:30 (台灣時間,GMT+8) ※ 請於營業時間與營業代表聯繫。
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周柏宏 Kenny chou 02-27178550#8546/8551 kennychou@fpc.com.tw 台南←→屏東 內銷
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張榮仁 JUNG-JEN CHANG (+886)07-3711411#5263 k8157235@fpc.com.tw
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三氟化氮是由氫氟酸與液氨反應純化而成。三氟化氮為氧化性無色氣體。基本物性:(1)熔點 : -206.6℃。(2)沸點:-129℃。(3)密度:2.96 g/L。(4)蒸氣密度:2.46(空氣=1)。(5)溶解度:微溶于水。 三氟化氮主要用於半導體、面板及薄膜太陽能電池等產業,作為清潔氣體與蝕刻氣體。
三氟化氮
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NF3 產品純度高,純度等級分為4N (≧99.99%)與4N6 (≧99.996%),可提高清潔與蝕刻效率,並避免不純物污染下游產品制程。 用於半導體、面板及薄膜太陽能電池等產業,作為薄膜制程的清潔氣體與蝕刻制程的蝕刻氣體。