電子級液氨
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電子級液氨是由工業級液氨經脫油、脫水、精餾等程式純化而成。電子級液氨為無色液化氣體,具強刺激味、易燃性與毒性。基本物性:(1)熔點:-77.7℃。(2)沸點:-33.4 ℃。(3)蒸氣壓:7.76 atm @ 21.1℃。(4)密度:0.682 @ -33℃。
電子級液氨
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NH3 產品純度高,純度等級分為5N5 (≧99.9995%)與6N5 (≧99.99995%),可提高下游產品品質與良率。 用於製造半導體及液晶面板的氮化矽(Si3N4)保護層 、藍光與白光LED之氮化鎵(GaN)晶片、太陽能電池的含氫氮化矽(SiN:H)反射層。